(11)	032058 (13) B1	Разделы: A B C D E F G H
(21)	201500106
(22)	2014.12.17
(51)	H01L 21/477 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01)
(43)	2016.06.30
(96)	2014/EA/0109 (BY) 2014.12.17
(71)	(73) ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "ИНТЕГРАЛ"-УПРАВЛЯЮЩАЯ КОМПАНИЯ ХОЛДИНГА "ИНТЕГРАЛ" (BY)
(72)	Турцевич Аркадий Степанович, Васильев Юрий Борисович, Трусов Виктор Леонидович, Богаткина Алла Николаевна (BY)
(54)	СПОСОБ ТЕРМИЧЕСКОГО ОКИСЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН

(57) Способ термического окисления кремниевых пластин, включающий загрузку лодочки с пластинами в нагретый реактор, подъем температуры до температуры окисления, окисление пластин, охлаждение и выгрузку лодочки с пластинами из реактора, причем в процессе загрузки лодочки в реактор и выгрузки из реактора загрузочная камера продувается ламинарным потоком циркулирующего фильтрованного воздуха или азота, отличающийся тем, что загрузка лодочки с пластинами проводится в нагретый до температуры 350-380°C реактор.