(11)	032316 (13) B1	Разделы: A B C D E F G H
(21)	201890432
(22)	2016.08.02
(51)	H01L 21/687 (2006.01)
(31)	DE102015113956.1
(32)	2015.08.24
(33)	DE
(43)	2018.09.28
(86)	PCT/IB2016/054630
(87)	WO 2017/033076 2017.03.02
(71)	(73) МЕЙЕР БЮРГЕР (ДЖЁМАНИ) ГМБХ (DE)
(72)	Рашке Себастьян, Анзорге Эрик, Кер Мирко, Бём Кристиан (DE)
(74)	Хмара М.В., Ильмер Е.Г., Пантелеев А.С., Осипов К.В., Липатова И.И., Дощечкина В.В., Новоселова С.В. (RU)
(54)	ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ

(57) 1. Подложкодержатель с плитой (1, 1а, 1b) подложкодержателя, имеющей лицевую поверхность (2) подложкодержателя, на которой предусмотрена по меньшей мере одна подложкоприемная область (3, 3a) для принятия соответственно одной подложки (4),

отличающийся тем, что

подложкоприемная область (3, 3a) содержит внутреннюю область (5) и внешнюю область (6), проходящую вокруг внутренней области (5), причем внешняя область (6) содержит плато (7), расположенные на расстоянии друг от друга и возвышенные относительно поверхности внутренней области (5), для прилегания краевых областей подложки (4), причем между указанными плато (7) предусмотрены вентиляционные каналы (8).

2. Подложкодержатель по п.1, отличающийся тем, что указанные плато (7) выполнены на том же уровне, что и лицевая поверхность (2) подложкодержателя, за исключением поверхности одной или нескольких внутренних областей (5).

3. Подложкодержатель по п.1 или 2, отличающийся тем, что вентиляционные каналы (8) предусмотрены со всех сторон вокруг подложкоприемной области (3a).

4. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что плато (7) выполнены подобными вертикальной стенке.

5. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что вентиляционные каналы (8) выфрезерованы в лицевой поверхности (2) подложкодержателя.

6. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что во внутренней области (5) предусмотрена по меньшей мере одна опорная структура (11), к которой предусмотрена возможность прилегания, по меньшей мере частичного, подложки (4).

7. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что плато (7) выполнены на лицевой поверхности (2) подложкодержателя посредством наращивания материала.

8. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что высота указанных плато (7) и/или глубина вентиляционных каналов (8) лежит в диапазоне от 0,1 до 1 мм.

9. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что расстояние между указанными плато (7) и/или ширина вентиляционных каналов (8) лежит в диапазоне от 0,1 до 5 мм.

10. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что плита (1, 1а, 1b) подложкодержателя выполнена по меньшей мере из одного электропроводящего материала и/или покрыта по меньшей мере одним электропроводящим материалом.

11. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что внешняя область (6) подложкоприемной области (3) составляет не больше одной десятой части поверхности подложки (4), предусмотренной на подложкодержателе.

12. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что на подложкоприемной области (3) предусмотрен по меньшей мере один выступ (9, 9а, 9b, 9c, 9d), выступающий из лицевой поверхности (2) подложкодержателя, для бокового ограничения поверхности прилегания подложки.

13. Подложкодержатель по п.12, отличающийся тем, что указанный по меньшей мере один выступ (9, 9а, 9b, 9c, 9d) представляет собой штифт.

14. Подложкодержатель по п.12 или 13, отличающийся тем, что выступ (9, 9а, 9b, 9c, 9d) вставлен в глухое отверстие (10), выполненное в лицевой поверхности (2) подложкодержателя.

15. Подложкодержатель по п.12 или 13, отличающийся тем, что выступ (9, 9а, 9b, 9c, 9d) установлен с обратной стороны (12) подложкодержателя, причем выступ (9, 9а, 9b, 9c, 9d) выступает из отверстия (13) лицевой поверхности (2) подложкодержателя, причем выступ (9, 9а, 9b, 9c, 9d) удерживается в отверстии (13) за счет размера отверстия (13) и при этом выступ (9, 9а, 9b, 9c, 9d) зафиксирован в отверстии (13) посредством фиксирующего элемента (91) с обратной стороны (12).

16. Подложкодержатель по п.12 или 13, отличающийся тем, что выступ (9, 9а, 9b, 9c, 9d) расположен в канавке (14), проходящей в плите (1) подложкодержателя параллельно к лицевой поверхности (2) подложкодержателя, причем находящийся в канавке (14) удерживающий элемент (92) выступа (9, 9а, 9b, 9с, 9d) окружен удерживающим контрэлементом (15) канавки (14).

17. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из пп.12-16, отличающийся тем, что выступ (9, 9а, 9b, 9c, 9d) выполнен по меньшей мере из одного электрического изолятора.

18. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из пп.12-17, отличающийся тем, что выступ (9, 9а, 9b, 9c, 9d) выполнен пустотелым.

19. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из пп.12-18, отличающийся тем, что выступ (9, 9а, 9b, 9c, 9d) на конце, направленном от плиты (1) подложкодержателя, выполнен остро или закругленно сужающимся.