| (21) | 202200089 (13) A3 |
| (22) | 2022.07.25 |
[ A ]
[ B ]
[ C ]
[ D ]
[ E ]
[ F ]
[ G ]
[ H ]
Документ опубликован 2023.04.28
Текущий бюллетень: 2023-04
Все публикации: 202200089
|
| (51) |
C23C 14/56 (2006.01)
C23C 14/34 (2006.01)
C23C 14/50 (2006.01)
H04R 17/00(2006.01) |
| (43) | A2 2023.02.28 Бюллетень № 02  тит.лист, описание
A3 2023.04.28 Бюллетень № 04 тит.лист, описание
|
| (31) | 2021123473 |
| (32) | 2021.08.06 |
| (33) | RU |
| (71) | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "ЛЭТИ" ИМ. В.И. УЛЬЯНОВА (ЛЕНИНА)" (СПбГЭТУ "ЛЭТИ") (RU) |
| (72) | Тупик Виктор Анатольевич, Тоисев Вадим Николаевич, Старобинец Иосиф Михайлович, Кострин Дмитрий Константинович, Марголин Владимир Игоревич, Верёвкин Александр Павлович (RU) |
| (54) | УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО ПОКРЫТИЯ НА ПЬЕЗОПЛЕНКУ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ |
