Евразийский сервер публикаций

Евразийская заявка № 202200089

Библиографические данные
(21)202200089 (13) A2
(22)2022.07.25

[ A ] [ B ] [ C ] [ D ] [ E ] [ F ] [ G ] [ H ]

Текущий раздел:


Документ опубликован 2023.02.28
Текущий бюллетень: 2023-02
Все публикации: 202200089

(51) C23C 14/56 (2006.01)
C23C 14/34 (2006.01)
C23C 14/50 (2006.01)
H04R 17/00(2006.01)
(43)A2 2023.02.28 Бюллетень № 02 тит.лист, описание
A3 2023.04.28 Бюллетень № 04 тит.лист, описание
(31)2021123473
(32)2021.08.06
(33)RU
(71)ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "ЛЭТИ" ИМ. В.И. УЛЬЯНОВА (ЛЕНИНА)" (СПбГЭТУ "ЛЭТИ") (RU)
(72)Тупик Виктор Анатольевич, Тоисев Вадим Николаевич, Старобинец Иосиф Михайлович, Кострин Дмитрий Константинович, Марголин Владимир Игоревич, Верёвкин Александр Павлович (RU)
(54)УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО ПОКРЫТИЯ НА ПЬЕЗОПЛЕНКУ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ
Реферат [ENG]
(57) Устройство для нанесения металлического покрытия на пьезопленку вакуумно-плазменным методом, содержащее вакуумную камеру с размещенным в ней ионно-плазменным источником распыления и устройства перемещения пьезопленки, закрепленной в рамке-маске, и обеспечивающие многократное прохождение рамки-маски с пьезонленкой через зону напыления, отличающееся тем, что рамка-маска выполнена в виде двух металлических немагнитных рамок, между которыми закреплена пьезопленка, а на устройстве вращения размещено приспособление, позволяющее поворачивать рамку-маску с пьезонленкой на 90° после каждого прохождения рамки-маски зоны напыления ионно-плазменного источника, причем сама рамка-маска имеет конфигурацию, обеспечивающую требуемый рисунок покрытия на поверхности пьезопленки. Изобретение позволяет обеспечивать возможность нанесения металлических покрытий требуемой конфигурации на пьезоэлектрические пленки с двух сторон в одном технологическом цикле.
Zoom in

Загрузка данных...