(57) Способ лазерной обработки неметаллических пластин, заключающийся в облучении их поверхности непрерывным лазерным излучением с плотностью энергии, определяемой по уравнению

где T_f - температура отжига пластины;
Т₀ - начальная температура пластины;
с и r - удельная теплоемкость и плотность материала пластины соответственно;
h - толщина пластины;
R - коэффициент отражения материала пластины на длине волны лазерного излучения;

c - показатель поглощения материала пластины на длине волны лазерного излучения;
t = at /h² - критерий Фурье;
а - коэффициент температуропроводности материала пластины;
t - время воздействия лазерного излучения;
n = 1, 2, 3, ... ¥ - натуральное число;
е - основание натурального логарифма;
p»3,14,
отличающийся тем, что осуществляют предварительный нагрев пластины до температуры, определяемой по уравнению

где

s_P - предел прочности материала пластины на растяжение;
n - коэффициент Пуассона материала пластины;
Е - модуль Юнга материала пластины;
a_T - коэффициент линейного расширения материала пластины.

---