(21)	201492247 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2013.07.09
(51)	H01J 37/32 (2006.01)
(31)	12175855.1; 12199072.5
(32)	2012.07.11; 2012.12.21
(33)	EP
(86)	PCT/IB2013/055636
(87)	WO 2014/009883 2014.01.16
(88)	2014.03.06
(71)	АСАХИ ГЛАСС КОМПАНИ, ЛИМИТЕД (JP)
(72)	Тиксон Эрик, Леклерк Жозеф, Мишель Эрик (BE)
(74)	Квашнин В.П. (RU)
(54)	УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ПРЕДОТВРАЩЕНИЯ ПОВРЕЖДЕНИЯ ПОДЛОЖКИ В ПЛАЗМЕННОЙ УСТАНОВКЕ, В КОТОРОЙ ПРИМЕНЯЮТ DBD

(57) Настоящее изобретение относится к способу предотвращения повреждения подложки в установке для обработки поверхности диэлектрическим барьерным разрядом (DBD) и к установке для обработки поверхности, в которой применяют DBD, для осуществления такого способа. Он включает измерение амплитуды напряжения на зажимах электродов и амплитуды тока, циркулирующего между указанными электродами; определение максимального числа периодических изменений напряжения на зажимах электродов в присутствии горячей электрической дуги (n max) для недопущения превышения 50 джоулей в виде рассеянной энергии в указанной подложке; модификацию с отрицательной обратной связью напряжения на зажимах указанных электродов перед достижением определенного максимального числа периодических изменений напряжения на зажимах электродов при варьировании амплитуды указанных двух параметров в результате инициирования горячей электрической дуги между указанными электродами.