(57) Раскрыты способ и установка для изготовления стержня из поликристаллического кремния с использованием смешанного сердечникового средства, содержащие размещение первого сердечникового средства, изготовленного из резистивного материала, вместе со вторым сердечниковым средством, выполненным из кремниевого материала, во внутреннем пространстве реактора осаждения; электрическое нагревание первого сердечникового средства и предварительное нагревание второго сердечникового средства первым сердечниковым средством, которое нагревается электрическим током; электрическое нагревание предварительно нагретого второго сердечникового средства; и подачу реакционного газа во внутреннее пространство в состоянии, где первое сердечниковое средство и второе сердечниковое средство электрически нагреты для осаждения кремния.
|
