(57) Предложен способ непрерывного получения гранулированного поликристаллического кремния с использованием реактора с псевдоожиженным слоем, обеспечивающий стабильное долговременное функционирование реактора посредством эффективного удаления отложений кремния, накапливающихся на внутренней стенке трубы реактора. Способ включает (i) стадию получения частиц кремния, на которой происходит осаждение кремния на поверхности частиц кремния, при одновременном накапливании отложений кремния на внутренней стенке трубы реактора, окружающей реакционную зону; (ii) стадию частичного выпуска частиц кремния, на которой часть частиц кремния, находящихся внутри трубы реактора, выпускается из реактора с псевдоожиженным слоем таким образом, чтобы высота слоя частиц кремния не превышала высоту расположения выпускного отверстия для реакционного газа; и (iii) стадию удаления отложений кремния, на которой отложения кремния удаляются подачей травящего газа в реакционную зону.
|
