(57) Настоящее изобретение относится к способу получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы, содержащему установку средства-основы во внутреннее пространство реактора осаждения, используемого для получения кремниевого стержня, при этом средство-основу (С) образуют, формируя один или множество разделительных слоев на поверхности металлического элемента основы, и соединяют с электродным средством (Е), нагревание средства-основы (С) путем подвода электрической энергии через электродное средство (Е) и подачу реакционного газа (Gf) во внутреннее пространство (Ri) для осаждения кремния, в результате чего формируется продукт осаждения в направлении наружу на поверхности средства-основы (С). В соответствии с настоящим изобретением средство-основа (С) может быть легко отделено от продукта (D) осаждения в виде кремниевого стержня, полученного посредством процесса осаждения кремния, а загрязнение продукта осаждения, обусловленное примесями металлического элемента (Са) основы, может быть минимизировано, в результате чего кремний высокой степени чистоты может быть получен более экономически выгодным и удобным способом.
|
