(57) Устройство и способ нанесения на подложку покрытия из пористого оксида: зацепление подложки (110) с помощью головки (6) устройства (100) для нанесения покрытия на подложку таким образом, чтобы верхняя поверхность подложки находилась под распылителем устройства для нанесения покрытия на подложку; расположение перегородки (200) между распылителем и верхней поверхностью подложки, причем перегородка содержит множество отверстий (202) и расположена в головке для обеспечения первого зазора между нижней поверхностью (203) перегородки и верхней поверхностью подложки; выпуск покрытия из пористого оксида из распылителя на верхнюю поверхность (204) перегородки; и пропускание покрытия из пористого оксида через отверстия (202) в перегородке на верхнюю поверхность подложки и в подложку, по крайней мере частичное, силой всасывания, приложенной к нижней поверхности подложки.