Евразийский сервер публикаций
Евразийская заявка № 201900107
Библиографические данные | |||||||||||||||||||||||||
| |||||||||||||||||||||||||
Реферат [ENG] | |||||||||||||||||||||||||
(57) Изобретение относится к области сенсорной техники и нанотехнологий, в частности к разработке газовых сенсоров хеморезистивного типа, используемых для детектирования газов. Способ изготовления газового сенсора включает в себя синтез структур двумерного карбида титана Ti3C2Tx (максена), где Tx=O-, OH-, F-, и их нанесение на диэлектрическую подложку, оборудованную компланарными измерительными электродами, с последующим отжигом при температуре 350°C для окисления максенов с целью формирования нестехиометрического поверхностного слоя диоксида титана. Результатом является изготовление нового высокочувствительного газового сенсора хеморезистивного типа. В случае оборудования подложки сенсора набором компланарных электродов в количестве более трех возможно формирование мультисенсорной линейки хеморезистивного типа, векторный сигнал которой после обработки методами распознавания образов позволяет осуществить селективное различение тестовых газовых смесей.
Загрузка данных...
| |||||||||||||||||||||||||