(57) 1. Способ коррекции астигматизма системы электромагнитных линз электронного микроскопа, включающий
получение первого изображения поля зрения, находящегося не в фокусе, при первых установках стигматора (96) линзы и вычисление спектра Фурье на основе первого изображения вычисляющим устройством,
получение первого изображения спектра Фурье (128, 312),
вычисление длины и направления первого вектора (134) в первом изображении спектра Фурье (128, 312), причем первый вектор (134) представляет наибольшее удлинение распределения яркости в первом изображении спектра Фурье (128, 312) и вычисление длины и направления второго вектора (132) в первом изображении спектра Фурье (128, 312), представляющего удлинение распределения яркости, перпендикулярного первому вектору (134),
сравнение длины первого вектора (134) с длиной второго вектора (132) первого изображения спектра Фурье (128, 312),
изменение первых установок стигматора (96) линзы на вторые установки стигматора (98) для получения второго изображения поля зрения, находящегося не в фокусе, второе изображение при вторых установках стигматора является изображением того же поля зрения, что и поле зрения для первого изображения при первых установках стигматора, и вычисление спектра Фурье на основе второго изображения вычисляющим устройством,
получение второго изображения спектра Фурье (314),
вычисление длины и направления третьего вектора во втором изображении спектра Фурье (314), причем третий вектор представляет наибольшее удлинение распределения яркости во втором изображении спектра Фурье (314) и вычисление длины и направления четвертого вектора во втором изображении спектра Фурье (314), представляющего удлинение распределения яркости, перпендикулярного третьему вектору,
сравнение длины третьего вектора с длиной четвертого вектора,
когда отношение длин векторов первого изображения спектра Фурье ближе к 1, чем отношение длин векторов второго изображения спектра Фурье, выбор первых установок стигматора (96), и
когда отношение длин векторов второго изображения спектра Фурье ближе к 1, чем отношение длин векторов первого изображения спектра Фурье, выбор вторых установок стигматора (98).
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что способ дополнительно включает этапы вычисления взвешенных моментов яркости первого изображения спектра Фурье и второго изображения спектра Фурье, при этом первый и второй собственные вектора нормализованного момента ковариационной матрицы для каждого изображения спектра Фурье представляют направление и протяженность распределения яркости этого изображения спектра Фурье.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что способ дополнительно включает этап вычисления взвешенных моментов яркости круглого изображения (129), представляющих направление и протяженность распределения яркости первого и второго изображений спектра Фурье.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что способ дополнительно включает этап изменения х-установок и у-установок стигматора.
5. Способ по п.4, отличающийся тем, что способ дополнительно включает этап одновременного изменения х-установок и у-установок стигматора.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что способ дополнительно включает нахождение установок стигматора, которые минимизируют значение удлинения выбранного изображения спектра Фурье (128, 312).
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что способ дополнительно включает установку первого и второго изображений в недофокусировке.

---