Евразийский сервер публикаций

Евразийская заявка № 201800373

Библиографические данные
(21)201800373 (13) A1
(22)2018.05.04

[ A ] [ B ] [ C ] [ D ] [ E ] [ F ] [ G ] [ H ]

Текущий раздел:

Документ опубликован 2019.11.29
Текущий бюллетень: 2019-11
Все публикации: 201800373

(51) C23C 14/56 (2006.01)
C23C 14/50(2006.01)
(43)A1 2019.11.29 Бюллетень № 11 тит.лист, описание
(96)2018/EA/0032 (BY) 2018.05.04
(71)ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ИЗОВАК ТЕХНОЛОГИИ" (BY)
(72)Ширипов Владимир Яковлевич, Хохлов Евгений Александрович, Марышев Сергей Павлович (BY)
(54)ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЛИНИЯ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ (ВАРИАНТЫ)
Реферат [ENG]
(57) Предлагаемые варианты выполнения технологических линий позволяют значительно повысить производительность оборудования, достичь высокого качества тонкопленочных покрытий с большим количеством слоев и обеспечить одновременное формирование покрытий на обеих сторонах подложек.
Zoom in

Загрузка данных...