(11) Номер патентного документа

201800373

(21) Номер евразийской заявки

201800373

(22) Дата подачи евразийской заявки

2018.05.04

(51) Индексы Международной патентной классификации

C23C 14/56 (2006.01)
C23C 14/50 (2006.01)

(43)(13) Дата публикации евразийской заявки, код вида документа

A1 2019.11.29 Бюллетень № 11 тит.лист, описание

(96) Регистрационный номер и дата подачи евразийской заявки, установленные патентным ведомством государства-участника Евразийской патентной конвенции, код страны

2018/EA/0032 (BY) 2018.05.04

(71) Сведения о заявителе(ях)

ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ИЗОВАК ТЕХНОЛОГИИ" (BY)

(72) Сведения об изобретателе(ях)

Ширипов Владимир Яковлевич, Хохлов Евгений Александрович, Марышев Сергей Павлович (BY)

(54) Название изобретения

ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЛИНИЯ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ (ВАРИАНТЫ)