(21)	201890740 (13) A1	Разделы: A B C E F G H
(22)	2017.09.11
(51)	B01D 11/00 (2006.01) C12Q 1/70 (2006.01)
(31)	62/402,003
(32)	2016.09.30
(33)	US
(86)	PCT/US2017/050962
(87)	WO 2018/063785 2018.04.05
(71)	ИНТЕЛЛИДЖЕНТ ВАЙЕРЭС ИМЭДЖИНГ ИНК. (US)
(72)	Синторн Ида-Мария, Райнер Мартин, Килсберг Густаф, Ниллсон Жозефина (SE)
(74)	Нагорных И.М. (RU)
(54)	СПОСОБ КОЛИЧЕСТВЕННОГО ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЧИСТОТЫ ОБРАЗЦОВ С НЕВИДИМЫМИ НЕВООРУЖЕННЫМ ГЛАЗОМ ЧАСТИЦАМИ

(57) Предложен способ количественного определения чистоты образцов с невидимыми невооруженным глазом частицами. Анализируемый образец помещают в электронный микроскоп для получения электронно-микроскопического изображения (100) образца. Образец содержит объекты (114). Объекты (114), которые имеют размеры, отличающиеся от диапазона размеров первичных частиц (120), и размеры, находящиеся в диапазоне размеров первичных частиц (120), усиливают. Объекты (114) выявляют, как являющиеся первичными частицами (120) или мусором (106). Выявленные первичные частицы (120) исключают из объектов (114), так что объекты (114) содержат мусор (106), но не первичные частицы (120). Измеряют первую полную площадь (T1) выявленного мусора (106). Измеряют вторую полную площадь (T2) выявленных первичных частиц (120).