(21)	201700028 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2016.11.21
(51)	G01B 11/06 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01)
(96)	2016000100 (RU) 2016.11.21
(71)	ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ "САРАТОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю.А." (СГТУ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю.А.) (RU)
(72)	Киселев Илья Викторович (DE), Сысоев Виктор Владимирович (RU), Киселев Егор Ильич (DE), Ушакова Екатерина Владимировна, Беляев Илья Викторович, Зимняков Дмитрий Александрович (RU)
(54)	СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ТОНКОЙ ПЛЕНКИ И КАРТИРОВАНИЯ ТОПОГРАФИИ ЕЕ ПОВЕРХНОСТИ С ПОМОЩЬЮ ИНТЕРФЕРОМЕТРА БЕЛОГО СВЕТА

(57) Изобретение относится к области метрологии тонких пленок, а именно к способу измерения толщины тонких прозрачных пленок бесконтактным способом с помощью интерферометра. Задачей заявляемого изобретения является разработка способа поточечного (на каждом пикселе) измерения толщины тонкой пленки, использующего всю содержащуюся в коррелограмме информацию о толщине пленки и в то же время не прибегающему к фундаментальному интерферометрическому синтезу теоретических коррелограмм. Задача решается аппроксимацией измеренной коррелограммы суммой опорных коррелограмм, которые получаются при измерении на подложке, не содержащей измеряемую пленку. Техническим результатом изобретения является увеличение точности определения толщины тонких пленок и увеличения топографической разрешающей способности топографического картирования поверхности пленки.