(11)	028986 (13) B1	Разделы: A B C D E F G H
(21)	201492247
(22)	2013.07.09
(51)	H01J 37/32 (2006.01)
(31)	12175855.1; 12199072.5
(32)	2012.07.11; 2012.12.21
(33)	EP
(43)	2015.08.31
(86)	PCT/IB2013/055636
(87)	WO 2014/009883 2014.01.16
(71)	(73) АСАХИ ГЛАСС КОМПАНИ, ЛИМИТЕД (JP)
(72)	Тиксон Эрик, Леклерк Жозеф, Мишель Эрик (BE)
(74)	Квашнин В.П. (RU)
(54)	УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ПРЕДОТВРАЩЕНИЯ ПОВРЕЖДЕНИЯ ПОДЛОЖКИ В ПЛАЗМЕННОЙ УСТАНОВКЕ, В КОТОРОЙ ПРИМЕНЯЮТ DBD

(57) 1. Способ предотвращения повреждения подложки в установке для обработки поверхности диэлектрическим барьерным разрядом в установке, содержащей реакционную камеру, в которой размещают средство для опоры и/или перемещения подложки и по меньшей мере два электрода, расположенных параллельно на двух противоположных сторонах средства для опоры и/или перемещения подложки, блока питания высокой мощности, обеспечивающего мощность питания по меньшей мере 50 кВт, включающий следующие этапы:

подача или направление стеклянной подложки в реакционную камеру;

измерение амплитуды напряжения на зажимах указанных электродов и амплитуды тока, циркулирующего между указанными электродами;

определение максимального числа периодических изменений напряжения на зажимах электродов в присутствии горячей электрической дуги для недопущения превышения 50 Дж в виде рассеянной энергии в указанной подложке, при этом максимальное число периодических изменений напряжения определяется согласно соотношению

50 Дж×f[Гц]/P[Вт],

где P - мощность, рассеиваемая электрической дугой, выраженная в Вт;

f - частота изменения напряжения, выраженная в Гц;

изменение амплитуды напряжения на зажимах указанных электродов и амплитуды тока, циркулирующего между указанными электродами посредством отрицательной обратной связи напряжения на зажимах указанных электродов при достижении указанного максимального числа периодических изменений напряжения.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что изменение напряжения посредством контура с указанной отрицательной обратной связью представляет собой отсечку напряжения.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что изменение напряжения посредством указанного контура с отрицательной обратной связью представляет собой многократную отсечку напряжения.

4. Способ по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что установка для обработки поверхности подложки диэлектрическим барьерным разрядом дополнительно содержит по меньшей мере один диэлектрический барьер, расположенный между указанными электродами, средство для управления источником питания, средство для подачи реактивных веществ в камеру, средство для извлечения фоновых веществ.

5. Установка для обработки поверхности диэлектрическим барьерным разрядом для осуществления способа по п.1, содержащая

реакционную камеру, в которой размещено средство для опоры и/или перемещения подложки и по меньшей мере два электрода, расположенные параллельно на двух противоположных сторонах средства для опоры и/или перемещения подложки;

средство, предназначенное для измерения амплитуды напряжения на зажимах указанных электродов и амплитуды тока, циркулирующего между указанными электродами;

средство, предназначенное для определения максимального числа периодических изменений напряжения на зажимах электродов в присутствии горячей электрической дуги для недопущения превышения 50 Дж в виде рассеянной энергии в указанной подложке, при этом максимальное число периодических изменений напряжения определяется согласно соотношению

50 Дж×f[Гц]/P[Вт],

где P - мощность рассеиваемая электрической дугой, выраженная в Вт;

f - частота изменения напряжения, выраженная в Гц;

средство, предназначенное для изменения амплитуды напряжения на зажимах указанных электродов и амплитуды тока, циркулирующего между указанными электродами посредством отрицательной обратной связи напряжения на зажимах указанных электродов при достижении указанного максимального числа периодических изменений напряжения.