(21)	201600651 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2015.06.17
(51)	H01J 37/153 (2006.01)
(31)	62/027,505
(32)	2014.07.22
(33)	US
(86)	PCT/US2015/036117
(87)	WO 2016/014177 2016.01.28
(71)	ИНТЕЛЛИДЖЕНТ ВАЙЕРЭС ИМЭДЖИНГ ИНК. (US)
(72)	Синторн Ида-Мария, Нордстром Рикард, Килберг Густаф (SE)
(74)	Нагорных И.М., Соболев М.М. (RU)
(54)	СПОСОБ АВТОМАТИЧЕСКОЙ КОРРЕКЦИИ АСТИГМАТИЗМА

(57) Способ автоматической коррекции астигматизма системы линз. При первых установках стигматора набора линз получаем несфокусированное первое изображение (96). Вычисляющее устройство вычисляет соответствующее первое изображение спектра Фурье (312). Вычислением первого вектора (132) и второго вектора (134) определяются распределение и направление пикселей изображения спектра Фурье (128, 130, 312). Первый вектор (132) сравнивается со вторым вектором (134). Для получения второго изображения (98) система линз изменяется от первых установок стигматора ко вторым установкам стигматора. Вычисляется соответствующее изображение спектра Фурье (314). Вычислением третьего и четвертого вектора определяется распределение и направление пикселей второго изображения спектра Фурье (314). Третий вектор сравнивается с четвертым вектором. Выбирается изображение с наименьшим отношением векторов.