(21)	201691900 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2015.02.16
(51)	H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/64 (2006.01) H01L 21/77 (2006.01) H01L 33/00 (2010.01)
(31)	61/972,575
(32)	2014.03.31
(33)	US
(86)	PCT/SG2015/000048
(87)	WO 2015/152817 2015.10.08
(71)	НАНЬЯН ТЕКНОЛОДЖИКАЛ ЮНИВЁРСИТИ (SG)
(72)	Демир Хильми Волькан, Тан Свее Тиам (SG)
(74)	Хмара М.В., Рыбаков В.М., Липатова И.И., Новоселова С.В., Дощечкина В.В., Пантелеев А.С., Ильмер Е.Г., Осипов К.В. (RU)
(54)	СПОСОБ ПОВТОРНОГО ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ПОДЛОЖЕК И НЕСУЩИХ ПОДЛОЖЕК

(57) Согласно различным вариантам осуществления изобретения предложен способ повторного использования несущих подложек. Способ содержит обеспечение несущей подложки, формирование буферного слоя путем нанесения подходящего материала на несущую подложку, формирование одного или более слоев компонентов поверх буферного слоя, отделение указанных одного или более слоев компонентов от несущей подложки так, что после отделения по меньшей мере часть буферного слоя остается на несущей подложке, и формирование дополнительного буферного слоя из части буферного слоя после процесса отделения путем нанесения подходящего материала, чтобы повторно использовать несущую подложку. Также предложен способ повторного использования подложки, который содержит формирование на подложке изолирующего слоя, удаление первой части изолирующего слоя так, чтобы первая часть подложки оказалась открытой, формирование одного или более слоев компонентов поверх первой части подложки и отделение указанного одного или более слоев компонентов от подложки, чтобы повторно использовать подложку.