| |
(11) | 026882 (13) B1 |
Разделы: A B C E F G H |
(21) | 201400949 |
(22) | 2014.07.30 |
(51) | H01L 29/872 (2006.01) H01L 29/47 (2006.01) |
(43) | 2016.02.29 |
(96) | 2014/EA/0058 (BY) 2014.07.30 |
(71) | (73) ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "ИНТЕГРАЛ"-УПРАВЛЯЮЩАЯ КОМПАНИЯ ХОЛДИНГА "ИНТЕГРАЛ" (BY) |
(72) | Турцевич Аркадий Степанович, Соловьев Ярослав Александрович, Сарычев Олег Эрнстович (BY) |
(54) | ДИОД ШОТТКИ |
(57) Диод Шоттки, содержащий сильнолегированную кремниевую подложку n-типа проводимости со сформированным окисленным слаболегированным эпитаксиальным слоем того же типа проводимости, охранное кольцо р-типа проводимости, образующее р-n переход, вскрытое в окисле кремния окно, сформированное в окне углубление величиной 0,05-0,5 мкм, барьерный слой электрода Шоттки и контактный электрод, отличающийся тем, что барьерный слой электрода Шоттки выполняют двуслойным: нижний слой формируют из рения толщиной от 5,0 до 15,0 нм, а верхний слой формируют из молибдена толщиной от 100 до 300 нм.
|