Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и евразийские патенты)"
Бюллетень 05´2017

(11)

026882 (13) B1 Разделы: A B C E F G H

(21)

201400949

(22)

2014.07.30

(51)

H01L 29/872 (2006.01)
H01L 29/47
(2006.01)

(43)

2016.02.29

(96)

2014/EA/0058 (BY) 2014.07.30

(71)

(73) ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "ИНТЕГРАЛ"-УПРАВЛЯЮЩАЯ КОМПАНИЯ ХОЛДИНГА "ИНТЕГРАЛ" (BY)

(72)

Турцевич Аркадий Степанович, Соловьев Ярослав Александрович, Сарычев Олег Эрнстович (BY)

(54)

ДИОД ШОТТКИ

(57) Диод Шоттки, содержащий сильнолегированную кремниевую подложку n-типа проводимости со сформированным окисленным слаболегированным эпитаксиальным слоем того же типа проводимости, охранное кольцо р-типа проводимости, образующее р-n переход, вскрытое в окисле кремния окно, сформированное в окне углубление величиной 0,05-0,5 мкм, барьерный слой электрода Шоттки и контактный электрод, отличающийся тем, что барьерный слой электрода Шоттки выполняют двуслойным: нижний слой формируют из рения толщиной от 5,0 до 15,0 нм, а верхний слой формируют из молибдена толщиной от 100 до 300 нм.

Увеличить масштаб


наверх