(21)	201692408 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2015.03.23
(51)	C23C 14/48 (2006.01) C30B 29/20 (2006.01) C30B 33/04 (2006.01) G02B 1/11 (2015.01) G02B 1/12 (2006.01) G06F 3/044 (2006.01)
(31)	14 01172; 14 02293
(32)	2014.05.23; 2014.10.09
(33)	FR
(86)	PCT/EP2015/056116
(87)	WO 2015/176850 2015.11.26
(71)	КЕРТЕК (FR)
(72)	Герналек Фредерик, Бусардо Дени (FR)
(74)	Перегудова Ю.Б., Фелицына С.Б. (RU)
(54)	СПОСОБ ОБРАБОТКИ САПФИРОВОГО МАТЕРИАЛА ПУЧКОМ ОДНО- И/ИЛИ МНОГОЗАРЯДНЫХ ИОНОВ ГАЗА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ АНТИБЛИКОВОГО МАТЕРИАЛА

(57) Способ обработки сапфирового материала включает облучение поверхности сапфирового материала, причем поверхность прилегает к среде, отличной от сапфирового материала, пучком одно- и/или многозарядных ионов газа так, чтобы получить ионно-имплантированный слой в сапфировом материале, причем ионы выбраны из ионов элементов из списка, состоящего из гелия (Не), неона (Ne), аргона (Ar), криптона (Kr), ксенона (Хе), бора (В), углерода (С), азота (N), кислорода (О), фтора (F), кремния (Si), фосфора (Р) и серы (S). Обработка дает антибликовый эффект на обработанных материалах (61, 62, 63) по сравнению с необработанными подложками (60). Указанный способ может быть использован для получения емкостной сенсорной панели с высоким пропусканием в видимом диапазоне.