| |
(21) | 201600246 (13) A1 |
Разделы: A B C D E F G H |
(22) | 2014.08.29 |
(51) | H01B 1/02 (2006.01) B32B 5/16 (2006.01) H01L 21/301 (2006.01) B82Y 40/00 (2011.01) B82Y 20/00 (2011.01) |
(31) | 2013141222 |
(32) | 2013.09.09 |
(33) | RU |
(86) | PCT/RU2014/000651 |
(87) | WO 2015/034398 2015.03.12 |
(71) | ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ НАНОСИСТЕМЫ"; ХАРТОВ СТАНИСЛАВ ВИКТОРОВИЧ (RU) |
(72) | Симунин Михаил Максимович, Воронин Антон Сергеевич, Карпова Дарина Валерьевна, Шиверский Алексей Валерьевич, Фадеев Юрий Владимирович (RU) |
(74) | Ковальчук Н.С. (RU) |
(54) | СЕТЧАТАЯ МИКРО- И НАНОСТРУКТУРА И СПОСОБ ЕЕ ПОЛУЧЕНИЯ |
(57) Изобретение относится к микро- и наноструктурированным покрытиям, применяемым в различных областях, и к способу их получения. В одном из вариантов реализации изобретения обеспечивается сетчатая микро- и наноструктура, содержащая проводящий или диэлектрический слой, выполненный в виде единой ажурной структуры, причем указанная ажурная структура соответствуют геометрии трещин, образованных в слое вещества, использованного в качестве шаблона при формировании указанной сетчатой микро- и наноструктуры. Также обеспечивается способ получения сетчатой микро- и наноструктуры, в процессе осуществления которого на подложке формируют слой вещества, выполненный с возможностью в процессе химической и/или физической реакции образовывать трещины; осуществляют операцию образования трещин в указанном слое при помощи химической и/или физической реакции; осуществляют операции по использованию полученного слоя, содержащего трещины, в качестве шаблона для задания геометрии микро- и наноструктуры. Указанное техническое решение обеспечивает решение задачи создания микро- и наноструктуры и способа ее получения, в основе которых лежали бы процессы самоорганизации и которые позволили бы не использовать дорогостоящие методы литографии для создания микро- и наноструктурированных покрытий, востребованных в ряде практических задач, в частности в задаче создания оптически прозрачных проводящих покрытий.
|