(21)	201591347 (13) A1	Разделы: A B C E F G H
(22)	2014.01.17
(51)	C23C 14/58 (2006.01) C23C 16/56 (2006.01) F24J 2/00 (2014.01) H01L 31/00 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01) C23C 16/54 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01)
(31)	1350453
(32)	2013.01.18
(33)	FR
(86)	PCT/FR2014/050090
(87)	WO 2014/111664 2014.07.24
(71)	СЭН-ГОБЭН ГЛАСС ФРАНС (FR)
(72)	Дюбо Брис, Мимун Эмманюэль, Билен Маттье (FR)
(74)	Медведев В.Н. (RU)
(54)	СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОДЛОЖКИ, СНАБЖЕННОЙ ПОКРЫТИЕМ

(57) Объектом изобретения является способ получения подложки (1), снабженной по меньшей мере на одной из своих сторон покрытием, в котором осаждают упомянутое покрытие на упомянутую подложку (1), затем подвергают упомянутое покрытие термообработке с помощью по меньшей мере одного нагревательного средства (2а), напротив которого движется подложка (1), причем способ является таким, что перед термообработкой на движущейся подложке (1) осуществляют по меньшей мере одно измерение по меньшей мере одного свойства упомянутого покрытия и адаптируют условия термообработки как функцию полученных ранее результатов измерения.