(21)	201490978 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2012.11.13
(51)	H01J 37/317 (2006.01) H01L 21/265 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01)
(31)	13/296,436
(32)	2011.11.15
(33)	US
(86)	PCT/US2012/064829
(87)	WO 2013/074523 2013.05.23
(71)	ДжиТиЭйТи, КОРПОРЕЙШН (US)
(72)	Смик Теодор, Райдинг Джеффри, Глейвиш Хилтон, Сакасе Такао, Парк Уилльям, Эиде Пол, Арнольд Дрю, Хорнер Рональд, Гиллеспи Джозеф (US)
(74)	Медведев В.Н. (RU)
(54)	УСТАНОВКА ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ И СПОСОБ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ

(57) Установка ионной имплантации, использующая колесо сканирования барабанного типа, поддерживает пластины с полным коническим углом, меньшим чем 60°. Коллимированный сканирующий пучок ионов, например Н⁺, направляется вдоль конечной траектории пучка, которая находится под углом по меньшей мере 45° к оси вращения колеса сканирования. Ионы извлекаются из источника и ускоряются вдоль линейной траектории ускорения до высокой энергии имплантации (больше чем 500 кэВ) перед сканированием или массовым анализом. Массовый анализатор может быть расположен вблизи оси вращения, и нежелательные ионы направляются на кольцевой поглотитель пучка, который может быть установлен на колесе сканирования.