(21)	201200231 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2009.08.20
(51)	G01G 3/16 (2006.01) G01N 27/00 (2006.01) G01N 29/02 (2006.01)
(86)	PCT/TR2009/000106
(87)	WO 2011/021984 2011.02.24
(71)	(72) КУЛАХ ХАЛУК; ЧИФТЛИК АТА ТУНА (TR)
(74)	Курышев В.В. (RU)
(54)	ГРАВИМЕТРИЧЕСКОЕ СЕНСОРНОЕ УСТРОЙСТВО С БОКОВОЙ ВИБРАЦИЕЙ, ВСТРАИВАЮЩЕЕСЯ ПОД МИКРОЖИДКОСТНЫМИ КАНАЛАМИ И ПРОИЗВОДЯЩЕЕСЯ ПО ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ (MEMS)

(57) Гравиметрическое сенсорное устройство с боковой вибрацией, встраивающееся под микрожидкостными каналами и производящееся по технологии микроэлектромеханических систем (MEMS), которое обнаруживает биологические клетки и вещества, определяемые при анализе, путем измерения изменения массы, помещенной на его поверхность, и которое состоит из четырех основных групп, включая резонатор, который может помещаться на основании канала; компоненты биоактивации резонатора; микрожидкостный канал и технологию микропроизводства. Его основные компоненты включают испытательную массу (1), гребенчатые пальцы, фиксирующиеся на испытательной массе (2), сложенные пружинные балки (3), дно канала и механическую почву (4), неподвижные электроды (5), гребенчатые пальцы, крепящиеся к неподвижным электродам (6), золотую пленку (7), накладывающуюся на массу, иммобилизованные биологические опознавательные молекулы (8) и микрожидкостный канал, помещающийся на резонаторной структуре (9).