(21)	201290148 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2010.09.13
(51)	C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/40 (2006.01)
(31)	20095947
(32)	2009.09.14
(33)	FI
(86)	PCT/FI2010/050700
(87)	WO 2011/030004 2011.03.17
(71)	БЕНЕК ОЙ (FI)
(72)	Снек Сами, Исомяки Нора, Маула Ярмо, Йюльхя Олли, Путконен Матти, Тёрнквист Рунар, Сёдерлунд Микко (FI)
(74)	Поликарпов А.В. (RU)
(54)	МНОГОСЛОЙНОЕ ПОКРЫТИЕ, СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНОГО ПОКРЫТИЯ И ЕГО ПРИМЕНЕНИЕ

(57) Предложено многослойное покрытие и способ изготовления многослойного покрытия на подложке (3). Покрытие организовано для того, чтобы свести к минимуму диффузию атомов через покрытие; при этом способ включает стадии введения подложки (3) в реакционное пространство; нанесения слоя первого материала (1) на подложку (3) и нанесения слоя второго материала (2) на слой первого материала (1). Нанесение слоя первого материала (1) и слоя второго материала (2) включает попеременное введение предшественников в реакционное пространство с последующей продувкой реакционного пространства после каждого введения предшественника. Первый материал выбирают из группы, состоящей из оксида титана и оксида алюминия, а второй материал представляет собой другое вещество из группы, состоящей из оксида титана и оксида алюминия. Между оксидом титана и оксидом алюминия образуется межфазная область.