(21)	201101719 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2011.12.06
(51)	G01L 9/00 (2006.01) B82B 1/00 (2006.01)
(96)	2011000165 (RU) 2011.12.06
(71)	УЧРЕЖДЕНИЕ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК ИНСТИТУТ НАНОТЕХНОЛОГИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ РАН (RU)
(72)	Сауров Александр Николаевич, Галперин Вячеслав Александрович, Павлов Александр Александрович, Благов Евгений Владимирович (RU), Шаман Юрий Петрович (BY), Шаманаев Сергей Владимирович, Шаманаев Артемий Андреевич (RU)
(74)	Андреева М.Ю. (RU)
(54)	ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

(57) Изобретение относится к датчикам давления. Изобретение может быть использовано в микро- и наноэлектромеханических системах для измерения давления окружающей среды. Датчик давления содержит подложку, в углублении которой сформирован массив углеродных нанотрубок, к которому по меньшей мере в двух местах подсоединена электрическая разводка, сформированная между диэлектрическими слоями, последовательно сформированными на подложке, и верхний слой, расположенный, по меньшей мере, над массивом углеродных нанотрубок. Технический результат заключается в повышении надежности функционирования чувствительного элемента датчика давления; повышении чувствительности датчика давления; исключении влияния изменений рабочей среды на функционирование датчика.