Евразийский сервер публикаций
Евразийская заявка на изобретение № 201892466
Библиографические данные | ||||||||||||||||||||||||
| ||||||||||||||||||||||||
Реферат [ENG] | ||||||||||||||||||||||||
(57) Изобретение относится к технологическим процессам и может быть использовано для лазерного отжига полупроводниковых, керамических и стеклообразных материалов. Техническим результатом изобретения является повышение выхода годной продукции в процессе лазерного отжига неметаллических материалов за счет уменьшения термоупругих напряжений и области возможного откольного разрушения материала. Технический результат достигается тем, что в способе лазерного отжига неметаллических материалов, заключающемся в облучении их поверхности лазерным импульсом прямоугольной временной формы с требуемой плотностью энергии, диэлектрическим зеркалом исходный лазерный импульс делят на два импульса и осуществляют временную задержку второго импульса на время действия первого импульса. При этом плотность мощности в первом импульсе составляет 60% от плотности мощности в первоначальном лазерном пучке.
Загрузка данных...
| ||||||||||||||||||||||||
Назад | Новый поиск |