Евразийский сервер публикаций
Евразийская заявка на изобретение № 201892465
Библиографические данные | ||||||||||||||||||||||||
| ||||||||||||||||||||||||
Реферат [ENG] | ||||||||||||||||||||||||
(57) Изобретение относится к области технологических процессов и может быть использовано для лазерного отжига пластин из полупроводниковых, керамических и стеклообразных материалов. Техническим результатом изобретения является исключение разрушения пластин термоупругими напряжениями в процессе обработки и повышение выхода годных пластин. Технический результат достигается тем, что в способе лазерной обработки неметаллических пластин, заключающемся в облучении их поверхности непрерывным лазерным излучением с плотностью энергии, достаточной для достижения поверхностью пластины температуры отжига, осуществляют предварительный нагрев пластины до температуры, обеспечивающей выполнение критерия термопрочности.
Загрузка данных...
| ||||||||||||||||||||||||
Назад | Новый поиск |