(57) 1. Оптический детектор газа для обнаружения газа, поглощающего свет на известной длине волны, содержащий две параллельные мембраны, определяющие объем между ними, который содержит подлежащий исследованию газ, и источник модулированного света, испускающий свет на упомянутой известной длине волны в упомянутый объем при выбранной частоте модуляции, причем детектор выполнен с возможностью обнаружения относительных перемещений между упомянутыми мембранами, вызванных поглощением света в газе, при этом мембраны выполнены с возможностью перемещения во взаимно противоположных направлениях с частотой, соответствующей упомянутой частоте модуляции или кратной упомянутой частоте модуляции, причем упомянутый объем имеет по меньшей мере одно отверстие, позволяющее газу неограниченно течь или диффундировать в упомянутый объем, и упомянутое обнаружение относительных перемещений обеспечивается с использованием оптических измерений, обеспечивающих контроль расстояния между двумя упомянутыми мембранами.
2. Детектор газа по п.1, в котором обнаружение перемещения обеспечивается с использованием оптической интерферометрии.
3. Детектор газа по п.2, в котором упомянутые мембраны являются частично отражающими и по меньшей мере одна из упомянутых мембран является частично прозрачной для упомянутого передаваемого света, тем самым образуя интерферометр Фабри-Перо, при этом упомянутое расстояние контролируется путем контроля переданной или отраженной интенсивности от интерферометра Фабри-Перо.
4. Детектор газа по п.3, в котором ряд углублений введен в конструкцию по меньшей мере одной мембраны и глубина углублений оптимизирована для создания выбранного изменения фазы в переданном и отраженном свете, чтобы обеспечить коррекцию контролируемого изменения расстояния между упомянутыми мембранами.
5. Детектор газа по п.3, в котором упомянутые средства для контроля расстояния между мембранами настраиваются посредством обратной связи от средств контроля для получения обоснованной рабочей точки.
6. Детектор газа по п.3, в котором длина волны контролируемого света настраивается с помощью обратной связи, исходя из значения измерения контролируемого расстояния для получения обоснованной рабочей точки.
7. Детектор газа по п.1, в котором никакие оптические окна не используются для окружения газа внутри упомянутого объема, устраняя любые сигналы, генерируемые поглощением на окнах.
8. Детектор газа по п.1, в котором настраиваемый фильтр Фабри-Перо используется для выбора длины волны и/или выполнения модуляции длины волны.
9. Детектор газа по п.1, в котором настраиваемый лазер используется для выбора длины волны и/или выполнения модуляции длины волны.
10. Детектор газа по п.1, в котором частота модуляции и размер мембран выбраны таким образом, что длина волны генерируемой вибрации в газе, зависящая от скорости звука в газе, составляет менее половины диаметра мембран.
11. Детектор газа по п.1, в котором общая величина объема составляет менее 4 см³.

---