(21) | 202100046 (13) A3 |
(22) | 2020.12.21 |
[ A ]
[ B ]
[ C ]
[ D ]
[ E ]
[ F ]
[ G ]
[ H ]
Документ опубликован 2022.04.29
Текущий бюллетень: 2022-04
Все публикации: 202100046
|
(51) |
H01C 17/075 (2006.01)
G01F 1/692 (2006.01)
G01K 7/16(2006.01) |
(43) | A2 2022.01.31 Бюллетень № 01 тит.лист, описание A3 2022.04.29 Бюллетень № 04 тит.лист, описание
|
(31) | 2020106350 |
(32) | 2020.02.10 |
(33) | RU |
(96) | 2020000140 (RU) 2020.12.21 |
(71) | РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ, ОТ ИМЕНИ КОТОРОЙ ВЫСТУПАЕТ ГОСУДАРСТВЕННАЯ КОРПОРАЦИЯ ПО КОСМИЧЕСКОЙ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ "РОСКОСМОС" (RU) |
(72) | Гончар Игорь Иванович, Савчук Александр Дмитриевич, Кадина Лариса Евгеньевна, Лашкова Татьяна Сергеевна (RU) |
(74) | Горбановский Н.Г. (RU) |
(54) | ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ ТИТАНОВЫЙ ТЕРМОРЕЗИСТОР НА ГИБКОЙ ПОЛИИМИДНОЙ ПОДЛОЖКЕ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ |