(57) Способ осаждения из растворов многослойных металлических структур на монокристаллический кремний, включающий травление кремния, активацию его поверхности, химическое осаждение пленки Ni-P, формирование барьерного адгезионного слоя термической обработкой в атмосфере аргона, электрохимическое осаждение контактного способного к пайке слоя, отличающийся тем, что кремний травят в две стадии: сначала в 40% растворе HF в течение 6 мин, затем - в растворе NH₄F 20 г в 1 дм³ концентрированной HNO₃ в течение 1 мин при комнатной температуре; активацию поверхности кремния проводят в растворе, содержащем 6-30 г/дм³ NiCl₂×6H₂O, 40 см³/дм³ HF и 10 см³/дм³ HCl, в течение 3 мин при 60°C; пленку Ni-P осаждают из раствора, включающего (г/дм³): NiCl₂×6H₂O - 37, NaH₂PO₂ - 12, (NH₄)₂HC₆H₅O₇ - 85, NH₄Cl - 62, NH₃×H₂O - 25, в течение 3,5-4,5 мин при температуре 95-99°C; барьерный адгезионный слой формируют термической обработкой в атмосфере аргона при температуре 760°C в течение 20 мин с удалением частично окисленного слоя никеля в азотнокислом растворе фторида аммония и освежением полученной поверхности в растворе состава (г/дм³): Ni(CH₃COO)₂×4H₂O - 25, NaH₂PO₂ - 25, NaCH₃COO - 15, глицин - 20 в течение 4-7 мин при температуре 85°C; контактный способный к пайке слой Ni-Sn наносят из электролита состава (г/дм³): NiCl₂×6H₂O - 100, SnCl₂×2H₂O - 20, NaF - 30, pH 4,0 в течение 3,0-3,5 мин при 50°C и плотности тока 0,75 А/дм².

---