|
| |
(21) | 201800125 (13) A1 |
    Разделы: A B C D E F G H  |
(22) | 2017.12.29 |
(51) | G01N 27/12 (2006.01)
B82Y 40/00 (2011.01) |
(96) | 2017000151 (RU) 2017.12.29 |
(71) | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САРАТОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю.А." (СГТУ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю.А.) (RU) |
(72) | Сысоев Виктор Владимирович, Лашков Андрей Витальевич, Плугин Илья Анатольевич (RU), Синицкий Александр Сергеевич, Липатов Алексей Владимирович (US) |
(54) | ГАЗОВЫЙ СЕНСОР ХЕМОРЕЗИСТИВНОГО ТИПА НА ОСНОВЕ ВИСКЕРОВ СУЛЬФИДА ТИТАНА И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ |
(57) Изобретение относится к области сенсорной техники и нанотехнологий, в частности к разработке газовых сенсоров хеморезистивного типа, используемых для детектирования газов. Способ изготовления газового сенсора включает в себя высокотемпературный синтез вискеров TiS3 из смеси титановой фольги и порошка серы в герметичной вакуумированной кварцевой ампуле, нанесение синтезированных вискеров на диэлектрическую подложку, оборудованную компланарными электродами и последующее размещение сенсора в корпус чипа путем разваривания электродов к выводам чипа. Результатом является изготовление нового хеморезистивного газового сенсора, работающего при комнатной температуре. В случае оборудования подложки набором компланарных электродов в количестве более трех возможно формирование мультисенсорной линейки, векторный сигнал которой после обработки методами распознавания образов позволяет осуществить селективное различение тестовых газовых смесей.
|
