|
| |
(21) | 201892122 (13) A1 |
    Разделы: A B C D E F G H  |
(22) | 2017.03.13 |
(51) | C03C 23/00 (2006.01) |
(31) | 16164910.8 |
(32) | 2016.04.12 |
(33) | EP |
(86) | PCT/EP2017/055854 |
(87) | WO 2017/178171 2017.10.19 |
(71) | АГК ГЛАСС ЮРОП (BE); АГК ГЛАСС КОМПАНИ НОРС АМЕРИКА (US); АСАХИ ГЛАСС КО ЛТД (JP); КВЕРТЕК ИНЖЕНЬЕРИ (FR) |
(72) | Наве Бенжамин, Буланже Пьер (BE), Бусардо Денис (FR) |
(74) | Квашнин В.П. (RU) |
(54) | ПРОТИВООТРАЖАЮЩАЯ СТЕКЛЯННАЯ ПОДЛОЖКА И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ |
(57) Настоящее изобретение касается способа изготовления противоотражающих стеклянных подложек с помощью ионной имплантации, предусматривающего выбор исходного газа, представляющего собой N2 или O2, ионизацию исходного газа с образованием таким образом смеси однозарядных и многозарядных ионов N или O, образование пучка однозарядных и многозарядных ионов N или O путем ускорения с помощью ускоряющего напряжения A, составляющего от 13 до 40 кВ, и установку ионной дозы до значения, составляющего от 5,56´1014´А/кВ+4,78´1016 ионов/см2 до -2,22´1016´А/кВ+1,09´1018 ионов/см2. Настоящее изобретение дополнительно касается противоотражающих стеклянных подложек, содержащих участок, обработанный посредством ионной имплантации с помощью смеси однозарядных и многозарядных ионов согласно данному способу.
|
