|
| |
(21) | 201892197 (13) A1 |
    Разделы: A B C D E F G H  |
(22) | 2017.03.13 |
(51) | C03C 23/00 (2006.01) |
(31) | 16164911.6 |
(32) | 2016.04.12 |
(33) | EP |
(86) | PCT/EP2017/055847 |
(87) | WO 2017/178166 2017.10.19 |
(71) | АГК ГЛАСС ЮРОП (BE); АГК ГЛАСС КОМПАНИ НОРС АМЕРИКА (US); АГК ИНК. (JP); КВЕРТЕК ИНЖЕНЬЕРИ (FR) |
(72) | Наве Бенжамин, Буланже Пьер (BE) |
(74) | Квашнин В.П. (RU) |
(54) | СТЕКЛЯННАЯ ПОДЛОЖКА СО СНИЖЕННЫМ ВНУТРЕННИМ ОТРАЖЕНИЕМ И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ |
(57) Настоящее изобретение касается способа изготовления стеклянных подложек со сниженным внутренним отражением с помощью ионной имплантации, предусматривающего ионизацию исходного газа N2, O2, Ar и/или He с образованием таким образом смеси однозарядных и многозарядных ионов N, O, Ar и/или He, образующих пучок однозарядных и многозарядных ионов N, O, Ar и/или He, путем ускорения при ускоряющем напряжении, составляющем от 15 до 60 кВ, и ионной дозе, составляющей от 1017 до 1018 ионов/см2. Настоящее изобретение дополнительно касается стеклянных подложек, характеризующихся сниженным внутренним отражением, содержащих область, обработанную с помощью ионной имплантации с помощью смеси однозарядных и многозарядных ионов согласно данному способу.
|
