(21)	201700376 (13) A1	Разделы: A B C E F G H
(22)	2017.07.18
(51)	C23C 14/56 (2006.01)
(96)	2017/EA/0057 (BY) 2017.07.18
(71)	ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ИЗОВАК" (BY)
(72)	Левчук Николай Евгеньевич, Малец Иван Валерьевич, Гизовский Сергей Владимирович, Проценко Вячеслав Владимирович, Савенко Владимир Анатольевич, Бахтин Дмитрий Юрьевич (BY)
(74)	Горячко М.Ш. (BY)
(54)	МАНИПУЛЯТОР ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ

(57) Устройство относится к оборудованию для нанесения тонкопленочных покрытий в вакууме и предназначено для перемещения шлюзовой камеры при выгрузке и загрузке образцов и для подачи образцов в вакуумную технологическую камеру. В заявленном манипуляторе вакуумной камеры, включающем в себя полый трубчатый элемент (2) с установленным на его конце подложкодержателем (16), выполненный с возможностью возвратно-поступательного движения внутри вакуумной камеры (9), штангу (24) с нагревателем (26) на ее нижнем конце, установленную внутри трубчатого элемента (2), и хотя бы первую (4) и вторую каретку (11), простота и легкость обслуживания, надежность и чистота процесса и снижение уровня атмосферных газов в процессе работы обеспечены тем, что манипулятор снабжен шлюзовой камерой (1), выполненной с возможностью возвратно-поступательного движения между положением герметичного контакта с вакуумной камерой (9), выполненной с управляемым затвором, и положением, свободным от такого контакта, причем указанный полый трубчатый элемент (2) расположен по оси указанной шлюзовой камеры (1) и выполнен с возможностью возвратно-поступательного движения внутри нее.