| |
(21) | 201890993 (13) A1 |
Разделы: A B C D E F G H |
(22) | 2016.11.29 |
(51) | G01L 9/00 (2006.01) G01L 11/02 (2006.01) |
(31) | 20151618 |
(32) | 2015.11.29 |
(33) | NO |
(86) | PCT/EP2016/079145 |
(87) | WO 2017/089624 2017.06.01 |
(71) | ТЬЮНАБЛ ИНФРАРЭД ТЕКНОЛОДЖИЗ АС (NO) |
(72) | Йохансен Иб-Руне (NO) |
(74) | Поликарпов А.В., Соколова М.В., Путинцев А.И., Черкас Д.А., Игнатьев А.В. (RU) |
(54) | ОПТИЧЕСКИЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ |
(57) Изобретение относится к оптическому датчику давления, такому как микрофон, состоящему из двух мембран, в котором звук входит не перпендикулярно мембране, а сбоку. Мембраны могут располагаться параллельно, как в интерферометре Фабри-Перо, или немного под углом, как в интерферометре с воздушным клином. В датчике давления используется интерферометрическое считывание, и он содержит две мембраны, по существу, с одинаковыми характеристиками, при этом по меньшей мере одна из мембран частично пропускает и частично отражает свет, а другая мембрана, по меньшей мере частично, отражает свет, мембраны разделены полостью определяемой распорной деталью, расстояние между мембранами является переменным, и они образуют резонатор Фабри-Перо, чувствительный к смещению, при этом две мембраны имеют общий тыльный герметичный или, по существу, герметичный объем на частоте измерения, причем увеличение давления приводит к тому, что мембраны двигаются в противоположных направлениях.
|