(21)	201700589 (13) A2	Разделы: A B C F G H
(22)	2016.11.21
(51)	B82B 1/00 (2006.01)
(96)	2016000102 (RU) 2016.11.21
(71)	ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ "САРАТОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю.А." (СГТУ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю.А.) (RU)
(72)	Федоров Федор Сергеевич, Васильков Михаил Юрьевич, Сысоев Виктор Владимирович, Лашков Андрей Витальевич, Варежников Алексей Сергеевич (RU)
(54)	СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МУЛЬТИЭЛЕКТРОДНОГО ГАЗОАНАЛИТИЧЕСКОГО ЧИПА НА ОСНОВЕ МЕМБРАНЫ НАНОТРУБОК ДИОКСИДА ТИТАНА

(57) Изобретение относится к области сенсорной техники и нанотехнологий, в частности к способам изготовления устройств распознавания и детектирования компонентов газовых смесей. Способ изготовления мультиэлектродного газоаналитического чипа на основе мембраны нанотрубок диоксида титана включает формирование массива упорядоченных нанотрубок TiO₂ из титана методом электрохимического анодирования во фторидном электролите с последующим растворением титанового субстрата в метиловом спирте с добавкой брома, промывкой полученной мембраны в спиртах и вытягиванием ее из раствора на поверхность подложки чипа, на которой формируются (или сформированы ранее) полосковые электроды для возможности проведения электрических измерений сопротивлений участков мембраны. При функционировании чип подвергают воздействию газовой среды, записывают изменение сопротивления сегментов мембраны нанотрубок диоксида титана, размещенных между каждой парой полосковых электродов, и обрабатывают векторный сигнал от всего набора сегментов методами распознавания образов для определения вида газовой смеси. Результатом является изготовление высокочувствительного и газоселективного мультиэлектродного газоаналитического чипа достаточно простым способом с низкой себестоимостью.