(21)	201890310 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2016.07.09
(51)	G01L 1/18 (2006.01) G01L 1/20 (2006.01) G01L 1/26 (2006.01)
(31)	10 2015 111 425.9
(32)	2015.07.14
(33)	DE
(86)	PCT/DE2016/100305
(87)	WO 2017/008784 2017.01.19
(71)	(72) КЛЕММ ЙАН (DE)
(74)	Андрущак Г.Н. (RU)
(54)	УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ИЗМЕРЕНИЯ СИЛЫ

(57) Устройство для электрического измерения силы F, которая минимально действует между двумя прижатыми друг к другу металлическими электродами (1) и металлическим электродом (3) и отличается тем, что металлические электроды из твердого сплава, стали или низкоомных слоев металла на керамике, стекле или пластмассе с электрическим сопротивлением в диапазоне от нескольких миллиом до не более чем 10 Ом и средней глубиной шероховатости R_a не более 400 нанометров обладают не зависящей от силы проводимостью на контактных поверхностях, а сила, которая непосредственно действует на тонкий слой изоляции (2) или тонкий слой многослойной изоляции (2), расположенный между металлическим электродом (1) и металлическим электродом (3) с геометрическим замыканием и состоящий из оксида цинка или восстановленного случайным образом оксида алюминия Al₂O_x при значениях от x=2,4 до x=2,8, или карбида кремния, или слоя DLC [алмазоподобное углеродное покрытие], при минимальной относительной деформации металлического электрода (1) и металлического электрода (3) в пределах не более 0,1 промилле, и что эталонный металлический электрод (4), расположенный так, что он не зависит от измеряемого силового потока и зафиксирован крепежным элементом (5) с постоянной удерживающей силой, который электрически воздействует на металлический электрод (3) через конструктивно идентичный тонкий слой изоляции (2) или тонкий слой многослойной изоляции (2) с точно таким же физическим поведением, так что такое эталонное сопротивление тонкого слоя изоляции между металлическим электродом (3) и металлическим электродом (4) испытывает постоянную силу прижима для полной температурной компенсации измерительного устройства, служит полумостом или мостом, причем по контуру в последовательном соединении от металлического электрода (1) через тонкий слой изоляции (2) к металлическому электроду (3) и через тонкий слой изоляции (2) к металлическому электроду (4) протекает ток от высокоточного источника тока (6), так что при прохождении через тонкий слой изоляции между металлическим электродом (1) и металлическим электродом (3) имеет место зависящее от силы уменьшение напряжения (8), а между металлическим электродом (3) и металлическим электродом (4) - эталонное уменьшение напряжения (9), соответствующее эталонному тонкому слою изоляции (2), соотношение таких напряжений не зависит от температуры, причем результирующее напряжение измерительного моста или соотношение напряжений, измеренное напрямую, представляет собой постоянную, поддающуюся точному описанию, воспроизводимую функцию с высоким разрешением, которая определяет воздействующую силу независимо от рабочей температуры установки для электрического измерения силы.