| |
(21) | 201890040 (13) A1 |
Разделы: A B C D E F G H |
(22) | 2016.06.13 |
(51) | G02B 26/08 (2006.01) |
(31) | 62/175,402; 14/848,056 |
(32) | 2015.06.14; 2015.09.08 |
(33) | US |
(86) | PCT/US2016/037131 |
(87) | WO 2017/052702 2017.03.30 |
(71) | БИБАС ЧАРЛЬЗ (US) |
(72) | Бибас Чарльз, Жоу Нианкинг (US), Хьюго Деон (ZA) |
(74) | Прищепный С.В. (RU) |
(54) | ФОРМИРУЮЩАЯ ОПТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА |
(57) Формирующая оптическая система включающая первый рефлектор, расположенный по направлению к центру горизонтальной вращающейся платформы; платформу, вращаемую приводом; формирующая оптическая система настроена, чтобы принимать вертикальный луч от источника электронного пучка перпендикулярно вращаемой платформе и первому рефлектору, выполненному с возможностью вращать луч в то время как платформа вращается и отражает луч горизонтально ко второму рефлектору, расположенному на вращательной платформе; второй рефлектор настроен, чтобы отражать луч вертикально по направлению к рабочей поверхности, таким образом, чтобы при активации луча и вращении платформы приводом, вертикальный луч попадал во вращение первого рефлектора, вращающего луч, в то время как платформа вращается и отражает луч ко второму рефлектору, который в свою очередь отражает луч на рабочую поверхность, затем луч следует по кривой относительно рабочей поверхности и описывает дугу на рабочей поверхности.
|