|
| |
(21) | 201700084 (13) A1 |
    Разделы: A B C D E F G H  |
(22) | 2016.11.21 |
(51) | G01N 27/407 (2006.01) |
(96) | 2016000098 (RU) 2016.11.21 |
(71) | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ "САРАТОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю.А." (СГТУ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю.А.) (RU) |
(72) | Сысоев Виктор Владимирович, Бурмистров Игорь Николаевич, Варежников Алексей Сергеевич, Мусатов Вячеслав Юрьевич, Лашков Андрей Витальевич, Гороховский Александр Владиленович (RU) |
(54) | МУЛЬТИСЕНСОРНЫЙ ГАЗОАНАЛИТИЧЕСКИЙ ЧИП НА ОСНОВЕ ТИТАНАТА КАЛИЯ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ |
(57) Группа изобретений относится к области газового анализа, а именно к устройствам распознавания состава многокомпонентных газовых смесей и способам его изготовления. Мультисенсорный газоаналитический чип включает диэлектрическую подложку со сформированным набором компланарных полосковых электродов, поверх которых нанесен матричный слой из вискеров титаната калия общей химической формулы KxH2-xTinO2n+b где x=0-2, n=4-8. При этом каждая пара электродов образует сенсорный сегмент матричного слоя вискеров титаната калия, плотность которого различна для разных сегментов и сопротивление которого изменяется под воздействием горючих газов при комнатной температуре. Согласно способу изготовления мультисенсорного газоаналитического чипа на основе вискеров титаната калия диэлектрическую подложку промывают в органическом растворителе и дистиллированной воде, сушат под вакуумом при температуре 60-100°С, наносят на поверхность подложки набор компланарных полосковых электродов из благородного металла, толщиной 0,1-1 мкм и шириной 50-200 мкм с зазором между электродами 10-100 мкм методом катодного и/или магнетронного напыления, поверх электродов наносят суспензию из диспергированного в дистиллированной воде порошка вискеров титаната калия концентрацией 0,01-5 мас.% и сушат полученную структуру при комнатной температуре в течение 24 ч. Технический результат заявляемой группы изобретений заключается в создании МГЧ на основе слоя вискеров титаната калия (ВТК), позволяющего проводить анализ вида газовой среды при комнатной температуре, что ведет к существенному снижению энергопотребления такого вида устройств и расширению области его технического применения.
|
