(21)	201790593 (13) A1	Разделы: A B C E F G H
(22)	2015.08.20
(51)	H01L 21/324 (2006.01) B23K 26/06 (2014.01) H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01)
(31)	1458520
(32)	2014.09.11
(33)	FR
(86)	PCT/FR2015/052238
(87)	WO 2016/038269 2016.03.17
(71)	СЭН-ГОБЭН ГЛАСС ФРАНС (FR)
(72)	Канова Лоренцо, Мимун Эмманюэль, Дюбо Брис (FR)
(74)	Медведев В.Н. (RU)
(54)	СПОСОБ ОТЖИГА ПРИ ПОМОЩИ ЛАМП-ВСПЫШЕК

(57) Способ поверхностного отжига подложки с нанесенным на нее покрытием, при этом упомянутый способ содержит следующие этапы: подложку (1) с предназначенным для отжига покрытием (2) перемещают под лампой-вспышкой (4), при этом сторона подложки (1), содержащая упомянутое покрытие (2), обращена к лампе-вспышке (4), предназначенное для отжига покрытие облучают мощным импульсным светом, излучаемым лампой-вспышкой (4), через экран (3), находящийся в неподвижном положении относительно лампы-вспышки между лампой-вспышкой и отжигаемым покрытием и содержащий щель, продольная ось которой перпендикулярна к направлению перемещения подложки, при этом частоту лампы-вспышки и скорость перемещения подложки регулируют таким образом, чтобы каждая точка отжигаемого покрытия получала по меньшей мере один световой импульс, отличающийся тем, что расстояние между нижней стороной экрана и поверхностью отжигаемого покрытия не превышает 1 мм и тем, что форма и протяженность щели являются такими, что экран затеняет отжигаемое покрытие во всех зонах, где сила света, который в отсутствие экрана достигал бы уровня отжигаемого покрытия, меньше пороговой силы света, называемой номинальной силой света.