(21)	201790268 (13) A1	Разделы: A B C E F G H
(22)	2015.08.05
(51)	C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01) H01J 37/34 (2006.01)
(31)	10 2014 011 877.0
(32)	2014.08.11
(33)	DE
(86)	PCT/DE2015/000397
(87)	WO 2016/023533 2016.02.18
(88)	2016.04.07
(71)	ГРЕНЦЕБАХ МАШИНЕНБАУ ГМБХ (DE)
(72)	Клайдайтер Герд, Криш Томас, Фиуковски Йорг, Гавер Олаф (DE)
(74)	Медведев В.Н. (RU)
(54)	СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭКОНОМИИ ЭЛЕКТРОЭНЕРГИИ И ОДНОВРЕМЕННОГО ПОВЫШЕНИЯ ПРОПУСКНОЙ СКОРОСТИ В ВАКУУМНЫХ УСТАНОВКАХ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

(57) Устройство и способ экономии электроэнергии и одновременного повышения пропускной скорости в вакуумных установках для нанесения покрытий, состоящих из последовательности распылительных сегментов (3) и газовых разделительных сегментов (2) с одной сплошной подложечной плоскостью (1), характеризующиеся следующими признаками: а) каждый распылительный сегмент (3) состоит из ванны (12) реактора с расположенным внутри транспортирующим устройством (11), причем фланец (6) реактора установлен в непосредственной близости над подложечной плоскостью (1), причем катодный опорный блок (5) с мишенями (8) и впускные каналы (10) для газа находятся в непосредственной близости от подложки с отбойными щитками (9) в крышке (4) реактора; b) газовые разделительные сегменты (2) в области подложечной плоскости (1) снабжены проходящим по всей длине газового разделительного сегмента (2) сводом (14) туннеля; с) вакуумирование распылительных сегментов (3) и/или газовых разделительных сегментов (2) осуществляется с помощью одного или нескольких вакуумных насосов (15), причем отводимый при этом воздух собирается в изменяющемся в объеме воздухосборнике (25).