(11) | 024663 (13) B1 |
    Разделы: A B C D E F G H  |
(21) | 201270368 |
(22) | 2010.09.02 |
(51) | C23C 14/56 (2006.01)
H01M 4/04 (2006.01)
C23C 14/08 (2006.01)
C23C 14/16 (2006.01)
C23C 14/22 (2006.01)
C23C 14/35 (2006.01)
C25B 11/04 (2006.01)
C25C 7/02 (2006.01) |
(31) | MI2009A001531 |
(32) | 2009.09.03 |
(33) | IT |
(43) | 2012.09.28 |
(86) | PCT/EP2010/062902 |
(87) | WO 2011/026914 2011.03.10 |
(71) | (73) ИНДУСТРИЕ ДЕ НОРА С.п.А. (IT) |
(72) | Антоцци Антонио Лоренцо (IT), Гулла Андреа Франческо (US), Якопетти Лучано, Мартелли Джан Никола, Рамунни Энрико, Урджеге Кристиан (IT) |
(74) | Медведев В.Н. (RU) |
(54) | АКТИВАЦИЯ ПОВЕРХНОСТЕЙ ЭЛЕКТРОДОВ С ПОМОЩЬЮ МЕТОДОВ ВАКУУМНОГО ОСАЖДЕНИЯ В НЕПРЕРЫВНОМ ПРОЦЕССЕ |
(57) 1. Способ получения электродов для электролитических процессов, включающий осаждение в непрерывном режиме плотного слоя благородных металлов или их оксидов на металлическую подложку методом физического осаждения из паровой фазы, причем указанный способ включает этапы
введения указанной металлической подложки в виде заготовок деталей в камеру кондиционирования устройства физического осаждения из паровой фазы;
гидравлического соединения указанной камеры кондиционирования и камеры осаждения, снижения давления в указанных камерах до первого уровня давления;
последовательного и автоматического выполнения цикла ввода в камеру осаждения указанных заготовок деталей;
изолирования камеры осаждения и снижения давления в этой камере осаждения до второго уровня давления, который ниже указанного первого уровня давления;
осуществления физического осаждения из паровой фазы указанного плотного слоя благородных металлов при указанном втором уровне давления;
последовательного вывода указанных заготовок деталей в камеру извлечения, гидравлически соединенную с указанной камерой осаждения, или в атмосферу.
2. Способ по п.1, в котором указанный первый уровень давления лежит в диапазоне от 10-3 до 1 Па, а указанный второй уровень давления лежит в диапазоне от 10-6 до 10-3 Па.
3. Способ по п.1 или 2, включающий последующий этап термической обработки в окислительной атмосфере.
4. Способ по п.1 или 2, в котором указанный этап физического осаждения из паровой фазы включает одновременное окисление указанных благородных металлов газообразным реагентом.
5. Способ по любому из пп.2-4, в котором указанное устройство физического осаждения из паровой фазы представляет собой аппарат ионно-лучевого осаждения и указанное физическое осаждение из паровой фазы указанного плотного слоя благородных металлов проводят путем бомбардировки ионами, извлекаемыми из фазы плазмы, с энергией 1000-2000 эВ, которой предшествует этап очистки подложки путем бомбардировки ионами аргона с энергией 200-500 эВ.
6. Способ получения электродов для электролитических процессов, включающий осаждение в непрерывном режиме плотного слоя благородных металлов или их оксидов на металлическую подложку методом физического осаждения из паровой фазы, причем подложка представляет собой рулон сетки или рулон протяжно-высечного листа, включающий стадии
снижения давления в секции подачи и в секции осаждения, которыми снабжено устройство магнетронного плазменного напыления или устройство плазменного напыления при постоянном токе типа "с рулона на рулон" или "с рулона на лист" на первой степени разрежения до 10-3-100 Па;
снижения давления в указанной секции осаждения до глубокого вакуума 10-3-10-6 Па;
обработки указанной подложки способом физического осаждения из паровой фазы указанным плотным слоем благородных металлов в указанной секции осаждения;
причем указанная секция подачи и секция осаждения гидравлически соединены.
7. Способ по п.6, включающий последующий этап термообработки в окислительной атмосфере.
8. Способ по п.6, в котором указанное физическое осаждение из паровой фазы включает одновременное окисление указанных благородных металлов газообразным реагентом.
9. Способ по любому из предыдущих пунктов, в котором указанная металлическая подложка выполнена из никеля, стали или титана.
10. Способ по любому из предыдущих пунктов, в котором указанные благородные металлы или их оксиды выбраны из группы, состоящей из платины, рутения, иридия и их оксидов.
| 
