|
| |
(21) | 201400421 (13) A1 |
    Разделы: A B C D E F G H  |
(22) | 2014.02.28 |
(51) | C23C 14/35 (2006.01) |
(96) | 2014/EA/0018 (BY) 2014.02.28 |
(71) | ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ИЗОВАК" (BY) |
(72) | Михалкович Виталий Владимирович, Ясюнас Александр Алексеевич (BY) |
(74) | Самцов В.П. (BY) |
(54) | СИСТЕМА ОХЛАЖДЕНИЯ МАГНЕТРОННО-РАСПЫЛИТЕЛЬНОГО УСТРОЙСТВА ЦИЛИНДРИЧЕСКОГО ТИПА |
(57) Изобретение относится к плазменной технике и предназначено для вакуумного ионно-плазменного нанесения тонких пленок металлов, полупроводников, диэлектриков и их соединений на поверхность твердых тел. Технический результат - повышение производительности магнетронной распылительной системы цилиндрического типа процесса, обеспечение полного удаления охлаждающего хладагента и упрощение конструкции магнетрона. Система содержит узел крепления 1 к вакуумной камере, в корпусе которого выполнены каналы подвода 2 и отвода 3 охлаждающей жидкости и сжатого воздуха, мотор 4, ременной привод вращения 15 распылительного блока 7, цилиндрическую мишень 5, систему управления приводом вращения 6 с датчиком наличия ремня 17, неподвижную опорную трубу 8 с магнитной системой, передний 10 и задний фланец 11 присоединения мишени с уплотнительными средствами 12. Задний фланец 11 содержит радиальное отверстие 13, соединенное с неподвижной опорной трубой 8. Передний фланец 10 присоединения мишени 5 дополнительно содержит радиальные отверстия 14, при этом радиальные отверстия переднего 10 и заднего фланцев 11 присоединения мишени выполнены сквозными в направлении от образующей фланцев к их центральной оси и соединены с каналами подвода 2 и отвода 3 охлаждающей жидкости. Система управления с приводом вращения 6 включает систему контроля 16 скорости вращения и фиксации распылительного блока 7 с цилиндрической мишенью 5 в любом наперед заданном положении. Датчик наличия ремня 17 системы контроля 16 содержит кинематически связанную с ним контрольную звезду 19 с ведомой шестерней 18 привода вращения распылительного блока 7, а один из зубьев 20 контрольной звезды 19 выполнен по ширине больше остальных зубьев.
|
