(11)	020321 (13) B1	Разделы: A B C D E F G H
(21)	201200798
(22)	2012.06.05
(51)	G01N 27/414 (2006.01) B82Y 15/00 (2011.01)
(43)	2013.12.30
(96)	2012000132 (RU) 2012.06.05
(71)	(73) ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННЫЙ КОМПЛЕКС "ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ЦЕНТР" МИЭТ" (RU)
(72)	Кузнецов Евгений Васильевич, Чуйко Оксана Вадимовна, Кузнецов Александр Евгеньевич, Рыбачек Елена Николаевна (RU)
(74)	Андреева М.Ю. (RU)
(54)	ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДАТЧИКА

(57) 1. Чувствительный элемент датчика измерения электрохимического потенциала в жидких средах, содержащий истоковые электроды p-типа и n-типа и общий стоковый электрод, имеющий области p-типа и n-типа, электроды выполнены на диэлектрическом слое подложки, истоковые электроды соединены с соответствующими областями стокового электрода нанопроволоками, покрытыми диэлектрическим слоем, причем стоковый и истоковые электроды изолированы.

2. Чувствительный элемент датчика по п.1, отличающийся тем, что подложка выполнена из кремния на изоляторе или поликремния на изоляторе.

3. Чувствительный элемент датчика по пп.1, 2, отличающийся тем, что стоковый и истоковые электроды выполнены из кремния или поликремния.

4. Чувствительный элемент датчика по пп.1-3, отличающийся тем, что концентрация примеси в стоковом, истоковых электродах составляет 10¹⁹-10²¹ см^-3.

5. Чувствительный элемент датчика по пп.1-4, отличающийся тем, что диаметр нанопроволок составляет 5-100 нм.

6. Чувствительный элемент датчика по пп.1-5, отличающийся тем, что длина нанопроволок составляет от 50 нм до 10 мкм.

7. Чувствительный элемент датчика по пп.1-6, отличающийся тем, что расстояние между нанопроволоками, соединяющими стоковый и истоковые электроды, составляет от 5 нм до 100 мкм.

8. Чувствительный элемент датчика по пп.1-7, отличающийся тем, что нанопроволоки легированы, причем концентрация легирующей примеси в нанопроволоках составляет 10¹⁴-10¹⁹ см^-3.

9. Чувствительный элемент датчика по пп.1-8, отличающийся тем, что обе нанопроволоки легированы одинаковым типом легирующей примеси.

10. Чувствительный элемент датчика по пп.1-7, отличающийся тем, что обе нанопроволоки легированы разными типами легирующей примеси.

11. Чувствительный элемент датчика по пп.1-10, отличающийся тем, что диэлектрический слой, нанесенный на нанопроволоки, имеет толщину от 5 до 200 нм.

12. Чувствительный элемент датчика по пп.1-11, отличающийся тем, что нанопроволока расположена над диэлектрическим слоем подложки.

13. Чувствительный элемент датчика по пп.1-11, отличающийся тем, что нанопроволока расположена на диэлектрическом слое подложки.

14. Чувствительный элемент датчика по пп.1-11, отличающийся тем, что нанопроволока расположена частично заглубленной в диэлектрический слой подложки.