(21)	201391765 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2012.05.24
(51)	C23C 16/40 (2006.01) C23C 16/503 (2006.01) C23C 16/34 (2006.01)
(31)	be 2011/0322
(32)	2011.05.25
(33)	BE
(86)	PCT/EP2012/059734
(87)	WO 2012/160145 2012.11.29
(71)	АГК ГЛАСС ЮРОП (BE)
(72)	Майе Стижн, Тиксон Эрик, Ван Стуивенберг Мартин, Виамэ Хью (BE)
(74)	Квашнин В.П. (RU)
(54)	СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ НА СТЕКЛЯННУЮ ПОДЛОЖКУ ПОСРЕДСТВОМ ПХО НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ

(57) Настоящее изобретение относится к способу производства пленок из оксидов, нитридов или оксинитридов металлов или полупроводников на подложке посредством способа ПХО, включающий следующие этапы: (i) обеспечение наличия устройства ПХО низкого давления, включающего по меньшей мере один источник плазмы, который содержит по меньшей мере один электрод, подключенный к сети переменного тока, генератору постоянного тока или импульсному DC-генератору, для нанесения путем осаждения указанных пленок на подложку, и (ii) подача электрической энергии на источник плазмы, а также подача на подложку газа-предшественника оксидной пленки, приготовленного из оксидов, нитридов или оксинитридов металлов или полупроводников, и активного газа, приготовленного из кислорода, производных кислорода или производных азота. Изобретение также относится к способу получения пленок из оксидов, нитридов или оксинитридов металлов или полупроводников.