(11)	019460 (13) B1	Разделы: A B C D E F G H
(21)	201100221
(22)	2009.07.16
(51)	C23C 16/509 (2006.01) C23C 16/54 (2006.01) C03C 17/00 (2006.01)
(31)	08160507.3
(32)	2008.07.16
(33)	EP
(43)	2011.08.30
(86)	PCT/EP2009/059155
(87)	WO 2010/007133 2010.01.21
(71)	(73) АГК ГЛАСС ЮРОП (BE)
(72)	Тиксон Эрик, Леклерк Жозеф (BE), Мишель Эрик (FR)
(74)	Квашнин В.П., Сапельников Д.А. (RU)
(54)	СПОСОБ И УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК НА ОСНОВУ

(57) 1. Способ нанесения пленки на одну сторону неорганической основы, отличающийся тем, что он включает следующие операции:

основу вводят в или пропускают через реакционную камеру (6, 106, 206), в которой расположены по меньшей мере два электрода (10, 110, 210), по меньшей мере один диэлектрический барьер (14, 114) расположен между по меньшей мере двумя электродами (10, 110, 210);

используют стабилизированный по амплитуде и частоте источник питания мощностью по меньшей мере 200 кВт, который содержит высокочастотный трансформатор, к выводам вторичной обмотки которого присоединены по меньшей мере два электрода, во вторичной цепи этого трансформатора генерируется стабилизированное высокочастотное напряжение для генерирования филаментной плазмы (12, 112, 212) между по меньшей мере двумя электродами (10, 110, 210); при этом

для уменьшения сдвига фазы между напряжением и током, которые генерируется во вторичной цепи трансформатора, используют регулируемую катушку индуктивности (L), расположенную параллельно с собственной катушкой индуктивности цепи, содержащую по меньшей мере два электрода; а

в реакционную камеру (6, 106, 206) вводят смесь (8, 108, 208), которая при контакте с плазмой разлагается и генерирует продукты для нанесения в виде пленки на основу; причем

повышение отношения активной/реактивной мощности в начале или во время процесса устанавливают путем регулирования напряжения и/или частоты, подаваемых стабилизированным источником питания, и/или путем регулирования индуктивности катушки индуктивности (L), расположенной параллельно с цепью, содержащей по меньшей мере два электрода, а напряжение и/или частоту, подаваемые цепью генератора и/или индуктивностью катушки индуктивности (L), регулируют так, чтобы обеспечивалось генерирование гармоник, увеличивающих время, в течение которого напряжение остается выше напряжения для поддержания электрического разряда, и, как следствие, время, в течение которого между электродами протекает ток.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что, по существу, активируют гармоники третьего и пятого порядка.

3. Способ по любому из пп.1 или 2, отличающийся тем, что он дополнительно включает следующую операцию: изменение положения и/или конфигурации по меньшей мере одного электрода (10, 110, 210).

4. Способ по одному из пп.1-3, отличающийся тем, что он дополнительно включает следующую операцию: приведение атмосферы в камере (6, 106, 206) к заданному давлению.

5. Способ по одному из пп.1-4, отличающийся тем, что используют открытую камеру (6, 106), содержащую зону ввода и зону вывода основы.

6. Способ по одному из пп.1-5, отличающийся тем, что используют камеру (206), закрытую на обоих концах.

7. Способ по одному из пп.1-6, отличающийся тем, что используют основу (2), являющуюся изолятором, которая сама образует диэлектрический барьер.

8. Способ по одному из пп.1-6, отличающийся тем, что используют проводящую основу (2), которая сама образует электрод.

9. Способ по одному из пп.1-8, отличающийся тем, что используют установку, мощность которой составляет по меньшей мере 500 кВт.

10. Установка для нанесения пленки на одну сторону неорганической основы (2), которая содержит камеру (6, 106, 206); средство транспортировки (4) и средство поддержки для введения основы в камеру; стабилизированный высоковольтный высокочастотный источник питания мощностью по меньшей мере 200 кВт, содержащий высокочастотный трансформатор, к выводам вторичной обмотки которого присоединены по меньшей мере два электрода (10, 110, 210), электроды размещены на каждой стороне основы (2); по меньшей мере один диэлектрический барьер (14, 114), расположенный между по меньшей мере двумя электродами (10, 110, 210); средство регулировки/управления источником питания, расположенное выше по току относительно высокочастотного трансформатора, для повышения отношения активной/реактивной мощности; средство (8, 108, 208) для введения реагирующих веществ в камеру (6, 106, 206) и средство для удаления остаточных веществ, отличающаяся тем, что регулируемая катушка индуктивности (L), расположенная во вторичной цепи трансформатора параллельно с цепью, содержащей по меньшей мере два электрода, обеспечивает возможность уменьшения сдвига фазы между напряжением, генерируемым между электродами (10, 110, 210) и суммарным током, подаваемым высоковольтным источником питания, средство регулировки источника питания, расположенное на первичной стороне трансформатора, и/или средство управления катушкой индуктивности (L) обеспечивает возможность генерирования гармоник, увеличивающих время, в течение которого между электродами протекает ток.

11. Установка для нанесения по п.10, отличающаяся тем, что камера (6, 106) открыта на обоих концах.

12. Установка для нанесения по п.10, отличающаяся тем, что камера (206) закрыта на обоих концах.

13. Установка для нанесения по любому из пп.10 или 11, отличающаяся тем, что камера (6, 106) внедрена в линию производства флоат-стекла, средство поддержки основы содержит ванну расплавленного олова (4).

14. Установка для нанесения по п.13, отличающаяся тем, что ванна из расплавленного олова (4) составляет один из электродов (10).

15. Установка для нанесения по любому из пп.10 или 11, отличающаяся тем, что она внедрена в линию производства, включающую лер для отжига, камера расположена в лере для отжига, средство поддержки основы содержит по меньшей мере один валок.

16. Установка для нанесения по любому из пп.10 или 11, отличающаяся тем, что она внедрена в линию закаливания.

17. Установка для нанесения по одному из пп.10, 11 и 13, отличающаяся тем, что она внедрена в линию нанесения, работающую при низком давлении.

18. Установка для нанесения по одному из пп.10-17, отличающаяся тем, что катушка индуктивности содержит

обмотку (22), состоящую из мотка проводящих элементов (30), изолированных друг от друга, который намотан вокруг сердечника (24);

магнитный стержень плунжера (26) сердечника, расположенный внутри этого сердечника (24) и изолированный от этого сердечника (24);

устройство (28) позиционирования, присоединенное к стержню плунжера (26) сердечника;

изолирующее соединение, присоединяющее стержень плунжера (26) сердечника к устройству позиционирования; и

систему управления, способную воздействовать на устройство позиционирования, чтобы регулировать положение магнитного стержня плунжера (26) сердечника относительно самого сердечника (24).