(21)	201390092 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2011.07.12
(51)	C23C 14/32 (2006.01) C25B 11/04 (2006.01)
(31)	102010036332.4
(32)	2010.07.12
(33)	DE
(86)	PCT/EP2011/061873
(87)	WO 2012/007469 2012.01.19
(88)	2012.03.08
(71)	ДРАЙШТЕГЕН ГМБХ; ХЕДТКЕ ГМБХ УНД КО. КГ (DE)
(72)	Кайзер Оливер (DE)
(74)	Медведев В.Н. (RU)
(54)	СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ПОДЛОЖКУ С ПОМОЩЬЮ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ДУГИ

(57) Изобретение относится к способу и испарителю (12, 14, 62, 64, 66, 68) для нанесения покрытия на подложку с помощью электрической дуги в вакуумной камере (10) во время электродугового напыления при низком давлении, причем вакуумная камера (10) имеет по меньшей мере один испаритель (12, 14, 62, 64, 66, 68), который включает в себя материал (20) мишени, трубопроводы (53, 54) для подвода реакционного газа, и вакуумный насос, причем испаритель (12, 14, 62, 64, 66, 68) с материалом (20) мишени служит в качестве катода, а внутренняя стенка (36) вакуумной камеры (10) в качестве анода, между которыми создается электрическая дуга. Согласно изобретению в качестве материала (20) мишени используется высокоплавкий металл для катализа, а давление в вакуумной камере (20) во время нанесения покрытия составляет по меньшей мере 0,5 Па, в частности по меньшей мере 3 Па, предпочтительно 5 Па. На подложке образуется слой из каталитически активного металла с высоким содержанием кислорода.