(21)	201390271 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2011.08.29
(51)	C23C 16/455 (2006.01)
(31)	20105909
(32)	2010.08.30
(33)	FI
(86)	PCT/FI2011/050750
(87)	WO 2012/028782 2012.03.08
(71)	БЕНЕК ОЙ (FI)
(72)	Соининен Пекка, Энхолм Робин (FI)
(74)	Хмара М.В., Рыбаков В.М., Новоселова С.В., Дощечкина В.В., Липатова И.И. (RU)
(54)	РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ ГОЛОВКА

(57) Настоящее изобретение относится к распылительной головке (2) для подвергания поверхности (4) подложки (6) последовательным поверхностным реакциям, по меньшей мере, первого прекурсора (А) и второго прекурсора (В). Распылительная головка (2) содержит два или более вытянутых сопла (8, 10) прекурсора для подачи на поверхность (4) подложки (6) первого и второго прекурсоров (А, В). В соответствии с настоящим изобретением распылительная головка (2) содержит на выходной стороне (5) сопла (8, 10) подачи прекурсора, каналы (12) продувочного газа и выпускные каналы (42, 46) в следующей, факультативно повторяющейся множество раз последовательности: по меньшей мере, первое сопло (8) подачи прекурсора, первый выпускной канал (42), канал (12) продувочного газа, второе сопло (10) подачи прекурсора, второй выпускной канал (46) и канал (12) продувочного газа.